产品型号:5P 1P 3HP 2P 6匹 (更多型号询价,请您来电咨询我们)
应用行业:半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的冷却系统
机组类型:箱型风冷式冷水机、箱型水冷式冷水机、开放式冷水机
简要介绍:【曝光机专用冷水机】是我司专为紫外线曝光机配套设计的一款高性能瀚信德品牌优质工业冷水机组,大多客户因厂房条件限制一般采用风冷散热形式最多,由于机型小所需散热风量比较小可直接放在车间使用,当然如果客户不希望【曝光机专用冷水机】的散热风影响车间环境温度,也可以接足够大尺寸的风管将曝光机冷水机散热风以最近的距离排到室外也可。
销售经理:13689526478 邮箱:www@hansind.com 电话:0755-29861112 传真:0755-29861126
【曝光机专用冷水机】是我司专为紫外线曝光机配套设计的一款高性能瀚信德品牌优质工业冷水机组,大多客户因厂房条件限制一般采用风冷散热形式最多,由于机型小所需散热风量比较小可直接放在车间使用,当然如果客户不希望【曝光机专用冷水机】的散热风影响车间环境温度,也可以接足够大尺寸的风管将曝光机冷水机散热风以最近的距离排到室外也可。
偶尔有的客户会指定需要水冷式结构或风冷分体结构(这两种需要客户厂房外有地方放冷却水塔或室外机组才可),机型一般也不大,使用1P、2HP、3匹、5P【曝光机专用冷水机】居多。
紫外线曝光机内部冷却系统一般用直冷式和间冷式两种
直冷式一般因要配置棉芯过滤器需要配置高扬程高压力的水泵和过水部件均需要使用304不锈钢材质以确保水质和循环水流量能达到要求;
间冷式因曝光机内部已经配置用板式交换器循环水泵与保温水箱,对曝光机专用冷水机的要求就比较低些。
能瀚信德品牌优质曝光机专用冷水机在半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的冷却系统中用着广泛应用。
紫外线曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线,将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备。
UV灯构造
带托盘的晶片工作台
配CCD镜头的显微镜
监视器
掩膜夹具
UV灯透镜
UV灯镜片
UV灯电源系统
操作控制器
350W UV灯
晶片台
基底尺寸 标准尺寸 最大至4英寸;可选最大至6英寸;
托盘 标准尺寸 最大至4英寸;可选最大至6英寸;
活动范围:X:10mm Y: 10mm Z : 10mm Theta: 4 degree
挤入补偿 Air bearing型
Z轴滑动 手动
真空泵 无油真空泵
掩膜台
掩膜夹具类型 真空吸附和机械夹取
均匀光束大小 4.25“ X 4.25“
支持接近式曝光,各种接触式(真空接触、软接触、硬接触等)曝光
接触式曝光特征尺寸:
0.35 um@深紫外DUV:
0.5um@近紫外NUV;
0.6um@紫外UV;
接近式曝光特征尺寸:
1um @ Gap为20 um;
2um @ Gap为50 um;
紫外线曝光机用途
更广范围(UV,DUV,NUV)的紫外光波长选择,出射光强范围: 8mW/cm2~40mW/cm2
支持恒定光强或恒定功率模式
广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领。
常见曝光机举例:MYCRO美国制造的恩科优(N&Q)紫外曝光系统,适用于从特殊大小的基片到4尺寸很宽广范围材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6系统成功地应用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的应用。
一、概述
二、瀚信德品牌高品质风冷式曝光机专用冷水机组又名
三、瀚信德品牌高品质风冷式曝光机专用冷水机组的电器自控部分
四、风冷式工业曝光专用冷水机组的结构组成与特点
1、风冷式曝光机冷水机组一般为整体机,及蒸发器、压缩机和冷凝器做在一起。五、风冷式曝光专用冷水机的工作原理!详情请点击查看参考风冷式冷水机工作原理
六、瀚信德高品质曝光专用冷水机配置简介
七、瀚信德高品质曝光专用冷水机组特点
八、瀚信德高品质曝光专用冷水机报价
九、瀚信德曝光专用冷水机组 售后服务
十、瀚信德品牌优质风冷式曝光专用冷水机技术参数请点击查看参考【风冷式冷水机参数】。
十一、瀚信德品牌优质水冷式/开放式/风冷式曝光专用冷水机技术参数请联系我们索取,我们将谒诚为您服务。
关键词:曝光机专用冷水机,曝光机冷水机